‘반도체 공정용 진공로봇’ 개발 착수
‘반도체 공정용 진공로봇’ 개발 착수
  • 신아일보
  • 승인 2008.02.27 18:55
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강원도, 내달부터 독일 칼스루헤大 MOU 협정 후속사업 전개
강원도는 27일 ‘플라즈마 응용산업에 대한 국제경쟁력 확보와 공동연구 기반조성, 시장진출을 모색한다"고 밝혔다.
이를위해 지난해 11월 22일 김진선 강원도지사가 독일 칼스루헤대학교를 방문하여 플라즈마 공동연구 상호협력을 다지는 MOU체결 이후 그 후속조치로 1차년도에 진행할 프로젝트로 ‘플라즈마응용 반도체 공정용 진공로봇 개발’를 위한 계약을 체결하고 다음달 3월부터 본격적으로 착수에 들어간다.
이번에 진행하는 ‘플라즈마응용 반도체 공정용 진공로봇개발’ 프로젝트는 경쟁적이고 혁신적인 산업으로 반도체 공정용 진공로봇의 디자인 및 시제품개발로서 플라즈마 데포지션(플라즈마 퇴적) 등 진공상태에서의 기존방법에 대한 이용과 새로운 방법의 개발이 프로젝트의 핵심 주제가 된다.
이 프로젝트는 강원도· 강원테크노파크(원장 : 박수복)와 독일 칼스루헤대학교의 IMI연구소를 비롯하여 다름슈타트대학(전기 컴퓨터공학과)등 4개 프로젝트팀의 종합적인 선진기술을 기반으로 개발된 제품의 지적재산권과 특허 사용권 활용을 통해 도내 창업등 상업적 활용을 진행 할 계획이다.
개발된 제품은 강원도내 연구소와 관련된 진공세라믹 베어링, 진공용 윤활유, 진공용 금속표면 처리 및 물류이동과 관련한 공장자동화 시뮬레이션 기술등에 접목시켜 기술의 고부가가 치화를 도모한다.
또한, 이 프로젝트를 통해 강원도는 독일 소유의 유.무형 선진 기술자원을 활용하여 플라즈마 국제 공동연구소 설립 기반을 마련하고, 강원도내 플라즈마 응용기술 향상은 물론 향후 산업발전을 촉진하는 첫번째 전기를 마련하여 철원군의 '플라 즈마산업 첨단 R&BD집적지 조성'에도 크게 기여할 것으로 기대하고 있다.
한편, 국내 로봇시장은 반도체, 자동차, 항공산업의 발전으로 제조업 로봇 중심으로는 약 2천억원 규모의 시장이 형성되어 있어 반도체 제조공정에 활용되는 기술과 디스플레이 및 광학 미디어용 기술의 국산화가 시급한 실정이다.
오경민기자 okm1500@hanmail.net