정부가 첨단 극자외선(EUV) 장비의 국내 도입 허용 기준을 개선하는 등 반도체 산업에 사용되는 고압가스와 관련한 안전 규제를 개선한다.

산업통상자원부는 12일 반도체 제조공정에 쓰이는 고압가스의 안전 규제 개선 과제 11개를 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선하여 기업부담을 완화할 계획이라고 밝혔다.

산업부는 지난 6월부터 반도체기업 및 유관협회에 대한 의견수렴과 간담회 등을 통해 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 안전규제에 대하여 다양한 개선과제를 발굴했다.

이 중 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비와 저장설비 등에 대한 7개 과제를 개선한다는 계획이다. 나머지 4개 과제는 안전성을 확인하고 타 법령과의 연계 가능성 등을 고려해 개선 방안을 모색한다.

주요 추진 과제로 차세대 EUV 장비의 국내 도입 허용 기준을 개선해 첨단제조설비를 선점함으로써 글로벌 경쟁력을 확보한다. 또한 방호벽 설치기준 등을 완화하는 등 반도체 공장의 증설을 용이하도록 함으로써 반도체공장 부지의 활용도를 높인다.

이외에 가연성 고압가스를 저장하는 실린더 캐비닛에 대한 기준도 개선한다. 현행 규제는 저장용 실린더 캐비닛을 설치할 때 설치 장소 지붕을 가벼운 불연 재료만 사용해 복층 증설이 어려웠다.

하지만 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련해 반도체공장의 복층 증설을 용이하도록 할 예정이다

박일준 산업부 2차관은 “반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 금번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”고 강조했다.

[신아일보] 윤경진 기자

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